特許

J-GLOBAL ID：200903014082374198

ワイヤソー装置

発明者： 松宮 律夫 ,  小中 敏典 ,  木南 治行
出願人/特許権者： エム・セテック株式会社
代理人 (1件)： 森 義明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-131007
公開番号（公開出願番号）：特開平7-314435
出願日： 1994年05月19日
公開日（公表日）： 1995年12月05日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】 ?@ワイヤによる切断可能な部分を増やして複数本の被加工物を1度で切断する。?A砥粒を含む切削液が被加工物の切溝の中心部までワイヤーと共に供給され、被加工物の切断後は速やかに切溝から排出されるようにして、切断されたウェハーの表面両面の平行度及び切削速度を高める。?B切断された被加工物の切溝からワイヤを抜け易くする。【構成】 ?@4本1組にて、四角形のコーナ部を占めるように水平に支持された加工ヘッドローラ10,11,12,13と、?Aローラ10,13及び11,12間には上下方向に走行するよう懸架され、ローラ10,12及び11,13間には互いに交差するようにたすき掛けに懸架されたワイヤ2と、?B上下方向に走行するワイヤ2に対向する面に装着された被加工物45aをワイヤ2に向けて移動させる被加工物移動装置30と、?C切削液供給部35とを有する。

請求項（抜粋）：

4本1組にて、四角形のコーナ部を占めるように水平に支持された加工ヘッドローラと、上下に位置する加工ヘッドローラ間には上下方向に走行するよう懸架され、斜め方向に位置する加工ヘッドローラ間には互いに交差するようにたすき掛けに懸架されたワイヤと、上下方向に走行するワイヤに対向する面に装着された被加工物をワイヤに向けて移動させる被加工物移動装置と、ワイヤによる被加工物の切断部に切削液を供給する切削液供給部とで構成された事を特徴とするワイヤソー装置。

IPC (4件)：

B28D 5/04 ,  B24B 27/06 ,  B28D 7/02 ,  H01L 21/304 311