特許
J-GLOBAL ID：200903014082657734
薄膜磁気ヘッドの製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
阿部 美次郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-022772
公開番号（公開出願番号）：特開平7-235015
出願日： 1994年02月21日
公開日（公表日）： 1995年09月05日
要約：
【要約】【目的】ヘッドピース集合体の湾曲及び曲りに起因するスロートハイトの変動を防止する。【構成】基体1a上に多数の薄膜磁気ヘッド素子Q11〜Qnmを格子状に配列したウエハー1から、薄膜磁気ヘッド素子の複数列H1、H2を含むヘッドピース集合体Hを、切断によって取出す。取出されたヘッドピース集合体Hに含まれる各列H1、H2の薄膜磁気ヘッド素子Q11〜Q1m、Q21〜Q2mは同一の切断面h1またはh2に対して同一の方向性を有している。次に、ヘッドピース集合体Hの両切断面h1、h2の一面h2を取付具に取り付け、他面h2に研磨加工を施す。次にヘッドピース集合体Hに含まれる複数列H1、H2のうち、最上列H2を他の列H1から切離す。
請求項（抜粋）：
複数の工程を含む薄膜磁気ヘッドの製造方法であって、第1の工程は、基体上に多数の薄膜磁気ヘッド素子を格子状に配列したウエハーから、前記薄膜磁気ヘッド素子の複数列を含むヘッドピース集合体を、切断によって取出す工程を含み、取出された前記ヘッドピース集合体に含まれる各列の前記薄膜磁気ヘッド素子は同一の切断面に対して同一の方向性を有しており、第2の工程は、前記ヘッドピース集合体の両切断面の一面を取付具に取り付け、他面に研磨加工を施す工程を含んでおり、第3の工程は、前記第2の工程の後、前記ヘッドピース集合体に含まれる複数列のうち、前記最上列を他の列から切離す工程を含んでいる薄膜磁気ヘッドの製造方法。
IPC (3件)：
G11B 5/31
, G11B 5/23
, G11B 5/60
