特許

J-GLOBAL ID：200903014087707365

ICテスト装置

発明者： 森永 和慶
出願人/特許権者： 三菱電機株式会社
代理人 (1件)： 曾我 道照 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-213075
公開番号（公開出願番号）：特開平7-092224
出願日： 1993年08月27日
公開日（公表日）： 1995年04月07日
要約：

【要約】【目的】 先に投入した実のマガジン3aのパレット2aとテストプログラムの異なる次の実のマガジン3bのパレット2bの搬送に空きを無くし、マガジン3とパレット2の搬送にかかる時間を短縮することを目的とする。【構成】 ハンドラ制御部12に、実のマガジン3a、3bの投入時、マガジン連番とマガジン連番に対応したテストプログラム名を入力・記憶するコンピュータ14を接続する。デバイスをテストする前にテスタ4にテストプログラム名を送り、テスタ4はテストプログラム名を受信してテストスタート信号待ちとなる。そして、次の実のマガジン3bのデバイスをテストする前にテスタ4のテストプログラム名を自動的に変えることで、先に投入した実のマガジン3aの全てのデバイスがテスト完了しなくとも、次の実のマガジン3bを投入してパレット搬送し、先に投入した実のマガジン3aのパレット2aに連続してパレット搬送する。

請求項（抜粋）：

複数のパレットを収納するマガジンをストックし前記マガジン内のパレットを1枚ずつ取りだし複数のテストヘッドに分配するテストハンドラ、前記マガジン毎にマガジン連番とこのマガジン連番に対応するテスト条件を入力して記憶するコンピュータ、前記マガジン連番に基づいて前記テストハンドラのテストヘッドに搬送されたパレットに対応した前記テスト条件をテストヘッド毎に送出するハンドラ制御部、及び前記テスト条件に基づいてテスト処理を行うテスタを備えたことを特徴とするICテスト装置。

IPC (2件)：

G01R 31/26 ,  H01L 21/66