特許
J-GLOBAL ID：200903014088300196
光ヘテロダイン干渉装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
早川 誠志
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-083693
公開番号（公開出願番号）：特開2006-266797
出願日： 2005年03月23日
公開日（公表日）： 2006年10月05日
要約：
【課題】 位相検出された位相信号と測定光の周波数との対応付けを良くして光周波数-位相特性の測定精度の向上を図った光ヘテロダイン干渉装置を提供する。【解決手段】 入射光である周波数可変の測定光を2つに分岐して周波数の異なる2つの光を出射する光分岐手段4及び異なる光路を通って入射される上記2つの光を合波して干渉光を出射する光カプラ6を有するマッハツェンダ型干渉計20と、干渉光をヘテロダイン検波する受光器8と、その検波信号の位相検出を行うRFロックインアンプ11と、このRFロックインアンプ11からの位相信号のデータ処理を行って被測定物の光周波数-位相特性を求める処理手段16とを備えた光ヘテロダイン干渉装置において、処理手段16は、測定光の周波数の可変に対応して所定の等光周波数間隔で発生される等光周波数間隔トリガcを受け、この等光周波数間隔トリガcに基づいて上記位相信号のデータ処理を行うようにした。【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
入射光である周波数可変の測定光を受けて2つに分岐するとともに、互いに周波数の異なる第1経路の光及び第2経路の光として出射する光分岐手段(4)並びに被測定物を介して入射される前記第1経路の光と前記被測定物を介さないで入射される前記第2経路の光とを合波して干渉光を出射する光結合手段(6)を有するマッハツェンダ型干渉計(20)と、
前記干渉光を受けてヘテロダイン検波し前記第1経路の光と前記第2経路の光の周波数差のビート信号を電気信号に変換する受光器(8)と、
前記ビート信号の周波数とほぼ同じ周波数の同期信号に基づいて前記電気信号の位相検出を行う同期検波器(11)と、
前記測定光の光周波数に対応した、該同期検波器から出力される位相信号を受け、該位相信号のデータ処理を行って前記被測定物の光周波数-位相特性を求める処理手段(16)とを備えた光ヘテロダイン干渉装置において、
前記処理手段は、前記測定光の周波数の可変に対応して所定の等光周波数間隔で発生される等光周波数間隔トリガを受け、該等光周波数間隔トリガに基づいて前記位相信号のデータ処理を行うことを特徴とする光ヘテロダイン干渉装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (23件)：
2F064AA15
, 2F064BB03
, 2F064CC04
, 2F064EE04
, 2F064EE06
, 2F064FF01
, 2F064FF08
, 2F064GG02
, 2F064GG21
, 2F064GG24
, 2F064GG51
, 2F064GG70
, 2F064HH01
, 2F064JJ02
, 2F064JJ05
, 2G059AA02
, 2G059AA05
, 2G059EE04
, 2G059EE09
, 2G059FF01
, 2G059GG01
, 2G059HH01
, 2G059KK01
