特許

J-GLOBAL ID：200903014096799213

真空蒸着用基板傾斜自公転装置

発明者： 小泉 和彦 ,  川井 孝雄 ,  三上 瞬
出願人/特許権者： 日本真空技術株式会社
代理人 (1件)： 北村 欣一 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-302913
公開番号（公開出願番号）：特開平9-143717
出願日： 1995年11月21日
公開日（公表日）： 1997年06月03日
要約：

【要約】【課題】蒸着装置に於ける自公転比を任意に変更できる基板傾斜自公転装置を提供すること、入射角の異なった蒸着を連続的に行え、更に自転板への基板の着脱を自動的に行える装置を提供すること【解決手段】蒸発源2を内部に設けた真空槽1内に、蒸着を施される基板3が取り付けられて自転する自転板4と該真空槽を挿通した公転軸5により回転されて該自転板に公転を与える公転部材6を設けた装置に於いて、該公転部材に該自転板を揺動部材11により揺動自在に取り付けすると共に該自転板を該公転部材に取り付けた自転用モーター13に連結してこれに自転を与え、該公転軸と共通の中心軸を有して該真空槽内へ延びて該公転軸と共に回転し且つ該中心軸方向へ該公転軸から独立して移動自在の摺動回転軸15を設け、該揺動部材に該摺動回転軸を連結して該摺動回転軸の該中心軸方向への移動により該揺動部材及び自転板を揺動する

請求項（抜粋）：

蒸発源を内部に設けた真空槽内に、蒸着を施される基板が取り付けられて自転する自転板と該真空槽を挿通した公転軸により回転されて該自転板に公転を与える公転部材を設けた装置に於いて、該公転部材に該自転板を揺動部材により揺動自在に取り付けすると共に該自転板を該公転部材に取り付けた自転用モーターに連結してこれに自転を与え、該公転軸と共通の中心軸を有して該真空槽内へ延びて該公転軸と共に回転し且つ該中心軸方向へ該公転軸から独立して移動自在の摺動回転軸を設け、該揺動部材に該摺動回転軸を連結して該摺動回転軸の該中心軸方向への移動により該揺動部材及び自転板を揺動することを特徴とする真空蒸着用基板傾斜自公転装置。