光起電力装置の製造方法

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：高橋昌久 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-213130
公開番号（公開出願番号）：特開2002-033495
出願日： 2000年07月13日
公開日（公表日）： 2002年01月31日
要約：

【要約】【課題】単位モジュールが基板上で直列に接続された光起電力装置の製造方法において、加工速度を速め、実質的な集積度の向上を図る。【解決手段】透明基板上に導電性透明電極膜、非晶質半導体膜、金属電極膜の積層膜を有し、モジュール単位に基板上で分離され且つ該分離されたモジュールが基板上で直列に接続された光起電力装置の製造方法において、透明電極側より、電極膜若しくは半導体膜の分離溝形成方向中心線に長径軸が略一致した楕円状パターンのレーザービームをパルス状に照射しつつ該電極膜若しくは半導体膜の分離溝形成方向へ相対的に移動して金属電極膜の分離溝を形成することを特徴とする。

請求項（抜粋）：

透明基板上に導電性透明電極膜、非晶質半導体膜、金属電極膜の積層膜を有し、モジュール単位に基板上で分離され且つ該分離されたモジュールが基板上で直列に接続された光起電力装置の製造方法において、前記透明基板を通して前記透明電極側より、該電極膜若しくは前記非結晶半導体膜の分離溝形成方向中心線に長径軸が略一致した楕円状パターンのレーザービームをパルス状に照射しつつ該長径軸方向へ相対的に移動して分離溝を形成することを特徴とする光起電力装置の製造方法。

IPC (3件)：

H01L 31/04 , B23K 26/00 , B23K101:40

FI (3件)：

B23K 26/00 D , B23K101:40 , H01L 31/04 S

Fターム (13件)：

4E068AD01 , 4E068CA03 , 4E068CA09 , 4E068CA15 , 4E068CB01 , 4E068CE04 , 5F051AA05 , 5F051EA02 , 5F051EA09 , 5F051EA10 , 5F051EA11 , 5F051EA16 , 5F051GA03

引用特許：

審査官引用 (6件)

特開平4-346274
特開昭62-040986
特開昭61-259524

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