特許

J-GLOBAL ID：200903014108600230

露光装置及び方法

発明者： 稲 秀樹 ,  関根 義之 ,  斉藤 謙治
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 丸島 儀一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-203218
公開番号（公開出願番号）：特開平11-054397
出願日： 1997年07月29日
公開日（公表日）： 1999年02月26日
要約：

【要約】【課題】 球面状のレチクルを使用しなくても球状のデバイス材料の表面へのパターンの露光を可能にする。【解決手段】 キノフォームで形成されたパターン2aを有するレチクル2を保持するレチクルホルダー30と、前記レチクル2上のキノフォームで形成されたパターン2aを介してデバイス材料1の表面を露光する露光手段(光源5、及び照明光学系ILM)を有する。

請求項（抜粋）：

キノフォームで形成されたパターンを有する原板を保持する原板保持手段と、前記原板上のキノフォームで形成されたパターンを介してデバイス材料の表面を露光する露光手段を有することを特徴とする露光装置。

IPC (3件)：

H01L 21/027 ,  G03F 1/08 ,  H01L 21/00

FI (5件)：

H01L 21/30 515 D ,  G03F 1/08 G ,  H01L 21/00 ,  H01L 21/30 502 Z ,  H01L 21/30 514 B