特許
J-GLOBAL ID：200903014109012714
基板検査装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-015308
公開番号（公開出願番号）：特開平10-213522
出願日： 1997年01月29日
公開日（公表日）： 1998年08月11日
要約：
【要約】【課題】 液晶ディスプレイ等の大型の基板の製造工程において、たとえ基板の振動を十分に抑制できない場合においても安定した基板観察を可能とする。【解決手段】 基板の像を撮像手段3の撮像面にて結像させる顕微鏡手段1と、基板像を合焦させるように顕微鏡手段を制御し、合焦位置固定後に基板像の合焦程度を示す合焦信号を出力する合焦手段1,2と、撮像手段からの基板像の画像信号を記憶する画像記憶手段4と、画像記憶手段に記憶された画像信号を表示する表示手段5と、合焦手段からの合焦信号に基づき、基板像の合焦程度が高くなるタイミングに合せて、画像記憶手段に対し撮像手段からの画像信号を取り込むタイミング信号を出力するタイミング発生手段6とを備えた基板検査装置。
請求項（抜粋）：
フラットディスプレイや半導体素子等のデバイスの製造工程で用いられる大型基板を検査する基板検査装置において、撮像手段と、前記基板の像を前記撮像手段の撮像面にて結像させる顕微鏡手段と、前記基板像を合焦させるように前記顕微鏡手段を制御し、合焦位置固定後に前記基板像の合焦程度を示す合焦信号を出力する合焦手段と、前記撮像手段により撮像される前記基板像の画像信号を記憶する画像記憶手段と、前記画像記憶手段に記憶された画像信号を表示する表示手段と、前記合焦手段からの合焦信号に基づき、前記基板像の合焦程度が高くなるタイミングに合せて、前記画像記憶手段に対し前記撮像手段からの画像信号を取り込むタイミング信号を出力するタイミング発生手段とを備えたことを特徴とする基板検査装置。
IPC (2件)：
G01M 11/00
, G02F 1/133 580
G01M 11/00 T
, G02F 1/133 580
