配向膜検査装置、ならびに液晶表示パネル製造方法および製造用装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-073591
公開番号（公開出願番号）：特開平8-271898
出願日： 1995年03月30日
公開日（公表日）： 1996年10月18日
要約：

【要約】【目的】透明電極基板上の配向膜のラビング処理の状態を、チェックするのに適した検査装置、及びこれによる液晶パネル製造方法等を提供する。【構成】液晶表示パネルの製造工程において、基板のラビング工程と液晶封入、シール工程等との間に、搬送ライン上の基板に偏光を照射して基板上に形成された配向膜のラビング状態を、液晶表示パネル完成前に検出する検出工程を設け、パネル完成前に基板のラビング良否判定、選別を行うようにした。この検出部は、測定光入射面側と測定光射出面側にそれぞれ偏光子及び検光子を透過軸方向を同一にして配置しかつ1/4波長板を偏光子と試料との間に挿入した構成とし、1/4波長板は、その主屈折率方向を偏光子の透過軸方向と約45度ずらせて配置した。

請求項（抜粋）：

被測定配向膜に、偏光子を通して測定光束を照射し、該偏光子と透過軸方向を同一にして配置された検光子を通して、特定波長における該配向膜からの射出光強度を検出するように構成し、さらに該波長の1/4波長に相当する位相差を生じさせる光学手段を光源から検出器までの測定光路に設け、射出光強度の検出出力により、該配向膜のラビング状態を測定することを特徴とする配向膜検査装置。

IPC (2件)：

G02F 1/1337 500 , G02F 1/13 101

FI (2件)：

G02F 1/1337 500 , G02F 1/13 101

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