特許
J-GLOBAL ID:200903014124911695

光学ユニットの調整方法、光学ユニットの調整装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 青山 葆 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-287865
公開番号(公開出願番号):特開2001-108877
出願日: 1999年10月08日
公開日(公表日): 2001年04月20日
要約:
【要約】【課題】 光学ユニットの収差調整と、受光素子調整や強度分布調整を、同時に調整できる光学ユニット調整装置を提供する。【解決手段】 光学ユニット調整装置は、異なる次数の2つの回折光を干渉させてシェアリング干渉像を得る反射・透過型の回折格子120と、(b)回折格子を光軸とほぼ直交する方向に移動する第1の機構122と、(c)シェアリング干渉像から光学ユニットの特性を検出する検出器112と、(d)検出器の検出結果に基づいて光学ユニットを調整する機構126と、(e)光軸方向に回折格子を移動させる機構124と、(f)回折格子で反射した光を受ける受光素子30,32と、(g)受光素子で受光された光の強度をもとに、受光素子の位置を調整する機構130を有する。
請求項(抜粋):
光学ユニットの調整方法であって、(a)反射性の材料からなる層を有し、所定の間隔をあけて複数の平行な透光窓が形成されており、上記光学ユニットから出射される光の光軸を横切って配置され、入射された上記光を反射すると共に、上記複数の透光窓を透過する光を回折し、異なる次数の2つの回折光を干渉させてシェアリング干渉像を得る反射・透過型回折格子を用意する工程と、(b)上記回折格子を上記光軸とほぼ直交する方向に移動する工程と、(c)上記シェアリング干渉像から上記光学ユニットの特性を検出する工程と、(d)上記検出器の検出結果に基づいて上記光学ユニットを調整する工程と、(e)上記光軸方向に上記反射・透過型回折格子を移動させる工程と、(f)上記回折格子で反射した光を受光素子で受像する工程と、(g)上記受光素子で受光された光の強度をもとに、上記受光素子の位置を調整する工程と、を備えた光学ユニットの調整方法。
IPC (3件):
G02B 7/00 ,  G02B 5/18 ,  G11B 7/22
FI (4件):
G02B 7/00 H ,  G02B 7/00 D ,  G02B 5/18 ,  G11B 7/22
Fターム (15件):
2H043AA03 ,  2H043AA24 ,  2H043AD03 ,  2H043AD12 ,  2H043AD23 ,  2H049AA03 ,  2H049AA50 ,  2H049AA57 ,  2H049AA68 ,  5D119AA38 ,  5D119BA01 ,  5D119JA43 ,  5D119JC07 ,  5D119KA42 ,  5D119NA02

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