特許
J-GLOBAL ID：200903014131420389
ウエハの片面研磨方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
川瀬 茂樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-184363
公開番号（公開出願番号）：特開平6-000762
出願日： 1992年06月17日
公開日（公表日）： 1994年01月11日
要約：
【要約】【目的】 2枚のウエハを貼り合わせ両面研磨装置で片面研磨をする。貼り合わせのために接着剤を用いると厚みが不均一で気泡を含むと厚み不均一になる。研磨後の平坦性が悪い。【構成】 水などの硬化しない液体中で2枚のウエハを面接触させり合わせる。表面張力によってウエハが接合する。研磨後は液中にると両者が離れる。
請求項（抜粋）：
半導体、誘電体、ガラスのウエハを両面研磨装置を用いて片面研磨する方法であって、硬化しない液体の中にウエハを漬け、ウエハ2枚を面接触させて貼り合わせ、表面張力によって付着したこの2枚のウエハを両面研磨装置に装入して両面を研磨し、後に前記の液体と同種類の液中で2枚のウエハを剥離することを特徴とするウエハの片面研磨方法。
IPC (3件)：
B24B 37/04
, H01L 21/304 321
, H01L 21/304
