塗布欠陥検出方法

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-086445
公開番号（公開出願番号）：特開平7-294451
出願日： 1994年04月25日
公開日（公表日）： 1995年11月10日
要約：

【要約】【目的】塗布後に設置した塗布欠陥検出センサーにより塗布欠陥を検出する場合において、塗布欠陥検出能力を向上させる方法を提供すること。【構成】塗布欠陥検出センサー1から得られた出力信号波形に対して計算機3によって短時間フーリエ変換を行い、時間-周波数平面上に表現されたエネルギー分布の形状から塗布欠陥の種類を特定することで塗布欠陥の種類判定能力を向上させることを特徴とする塗布欠陥検出方法。【効果】時間-周波数二次元解析による定量的評価により、しきい値判定では検出が困難であるような塗布欠陥の種類判定能力を向上させることができた。

請求項（抜粋）：

塗布後に設置した塗布欠陥検出センサーにより塗布欠陥を検出する場合において、前記塗布欠陥検出センサーの出力信号波形に対して短時間フーリエ解析を行い、時間-周波数平面上に表現された出力信号波形のエネルギー分布の形状から塗布欠陥の種類を判別することにより塗布欠陥検出能力を向上させることを特徴とする塗布欠陥検出方法。

IPC (3件)：

G01N 21/88 , B05D 3/00 , G01B 11/30

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