特許

J-GLOBAL ID：200903014139368157

アルカリ現像用ポジ型感光性樹脂組成物

発明者： 土井 宏介 ,  新倉 聡 ,  徳竹 信生 ,  小原 秀克 ,  中山 寿昌
出願人/特許権者： 東京応化工業株式会社
代理人 (1件)： 阿形 明 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-119571
公開番号（公開出願番号）：特開平5-289333
出願日： 1992年04月14日
公開日（公表日）： 1993年11月05日
要約：

【要約】【構成】 アルカリ可溶性ノボラック樹脂に対し、感光性成分として、一般式【化1】(式中のDの中の少なくとも1個はナフトキノン-1,2-ジアジド-スルホニル基で、残りは水素原子であり、nは0〜7の数である)で表わされる化合物又は、この化合物と一般式【化2】(式中のD′の中の少なくとも1個はナフトキノン-1,2-ジアジド-スルホニル基で、残りは水素原子である)で表わされる化合物を配合したアルカリ現像用感光性樹脂組成物である。【効果】 感光層の厚みの不均一、光源距離の変動によりパターン精度がそこなわれることがなく、忠実度の高い耐熱性パターンを得ることができる。

請求項（抜粋）：

(A)アルカリ可溶性ノボラック型樹脂に対し、感光性成分として(B)一般式【化1】(式中のDの中の少なくとも1個はナフトキノン-1,2-ジアジド-スルホニル基で、残りは水素原子であり、nは0〜7の数である)で表わされる化合物を配合したことを特徴とするアルカリ現像用ポジ型感光性樹脂組成物。

IPC (2件)：

G03F 7/022 ,  H01L 21/027