特許
J-GLOBAL ID：200903014140716339
走査型プローブ顕微鏡用カンチレバーチップ及びその製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
最上 健治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-092210
公開番号（公開出願番号）：特開平11-271015
出願日： 1998年03月23日
公開日（公表日）： 1999年10月05日
要約：
【要約】【課題】 レバー部の長さを短く支持部を薄型化して、高速動作を可能とした走査型プローブ顕微鏡用カンチレバーチップ及びその製造方法を提供する。【解決手段】 カンチレバー部101 と、該カンチレバー部101 の先端に該カンチレバー部と一体的に又は別体で形成された探針部102 と、該カンチレバー部101の基部に設けられた、SOI基板の活性層又はCVD膜からなる支持部103 とで走査型プローブ顕微鏡用カンチレバーチップを構成する。
請求項（抜粋）：
支持部と、該支持部より延びるように配置されたレバー部と、該レバー部の自由端であって、該レバー部の前記支持部の配置面とは反対側の表面に設けられた探針部とを備え、前記支持部はSOI基板の活性層で構成されていることを特徴とする走査型プローブ顕微鏡用カンチレバーチップ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01B 7/34 Z
, G01B 21/30 Z
