特許
J-GLOBAL ID：200903014142512943
プローブユニットとその製法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
中畑 孝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-164701
公開番号（公開出願番号）：特開平8-015318
出願日： 1994年06月23日
公開日（公表日）： 1996年01月19日
要約：
【要約】【目的】この発明はベース板2の表面に微小ピッチで並列配置したリード群の端部をベース板から突出させて弾性接片を形成したプローブユニットにおいて、リード群をベース板に接着する作業等を要せずに健全且つ容易に形成できるようにしたものである。【構成】ベース板2の表面に並列してメッキ成長により形成された多数のリード3を有し、該メッキ成長リード3の一端を上記ベース板2の一端から突出させて弾性接片3aを形成したプローブユニット。第1ベース板と第2ベース板とを端面において突き合せ、第1,第2ベース板の表面に両ベース板を横断せる多数のリードを並列状態でメッキ成長させ、第2ベース板を剥離して第2ベース板上に延在していたリード端部を上記第1ベース板の端部から突出させるプローブユニットの製法。
請求項（抜粋）：
ベース板の表面に並列してメッキ成長により形成された多数のリードを有し、該メッキ成長リードの一端を上記ベース板の一端から突出させて弾性接片を形成したことを特徴とするプローブユニット。
IPC (3件)：
G01R 1/073
, G01R 31/28
, H01L 21/66
