特許

J-GLOBAL ID：200903014142932748

面間隔測定方法及び装置

発明者： 和田順雄 ,  今村文美 ,  西岡公彦
出願人/特許権者： オリンパス光学工業株式会社
代理人 (1件)： 韮澤 弘 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-270000
公開番号（公開出願番号）：特開2001-091223
出願日： 1999年09月24日
公開日（公表日）： 2001年04月06日
要約：

【要約】【課題】 非破壊、非接触で高精度にレンズの肉厚や面間隔を測定できる面間隔測定方法および装置を提供する。【解決手段】 低コヒーレンス光源101から射出した光束は、光束分割手段102で分割され、一方は参照光として光路長可変手段103で光路長が可変に調整されて反射鏡107で反射される。参照光と測定光とは光束合成手段105で重なり合うが、被検物104の面aからの反射光と反射鏡107からの反射光との光路長差が光源のコヒーレンス長以内であれば干渉を生じ、光電検出器106で干渉信号が検出される。被検物104のもう一つの面bからの反射光に対し、光路長可変手段103を移動して光路長を変化させ光電検出器105で干渉信号が得られたとき、光路長可変手段103による光路長変化を測定すれば、a-bの間隔が得られる。

請求項（抜粋）：

空間的コヒーレンス長が短い低コヒーレンス光源と、該低コヒーレンス光源から射出された光束を分割する光束分割手段と、該光束分割手段により分割された一方の光束の光路長を可変させる光路長可変手段と、前記光束分割手段により分割された他方の光束を測定すべき面間隔を有する被検物たる光学系へと導き、該被検物からの反射又は透過光と前記光束分割手段で分割された2つの光束を重ね合わせる光束合成手段と、該光束合成手段により重ね合わされた干渉光から被検物の面間隔を測定することを特徴とする面間隔測定方法及び装置。

IPC (3件)：

G01B 11/14 ,  G01B 11/00 ,  G01M 11/02

FI (3件)：

G01B 11/14 G ,  G01B 11/00 G ,  G01M 11/02 B

Fターム (38件)：

2F065AA01 ,  2F065AA22 ,  2F065AA30 ,  2F065AA61 ,  2F065BB05 ,  2F065CC16 ,  2F065CC21 ,  2F065CC25 ,  2F065FF51 ,  2F065FF55 ,  2F065FF67 ,  2F065GG02 ,  2F065GG06 ,  2F065GG07 ,  2F065JJ01 ,  2F065JJ02 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ18 ,  2F065JJ19 ,  2F065JJ25 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL00 ,  2F065LL02 ,  2F065LL08 ,  2F065LL21 ,  2F065LL31 ,  2F065LL35 ,  2F065LL36 ,  2F065LL37 ,  2F065LL46 ,  2F065LL53 ,  2F065NN03 ,  2F065QQ23 ,  2F065QQ29 ,  2F065QQ31 ,  2F065SS02 ,  2F065SS13 ,  2G086FF01