特許

J-GLOBAL ID：200903014146221102

試料導入装置及びガス分析装置及び配管のリーク検査方法

発明者： 溝上 員章
出願人/特許権者： 株式会社日本エイピーアイ
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-275196
公開番号（公開出願番号）：特開平10-090227
出願日： 1996年09月10日
公開日（公表日）： 1998年04月10日
要約：

【要約】【課題】 被試料導入装置に、一定圧力、一定流量で試料ガスを供給する。【解決手段】 本実施の形態による試料導入装置1は、試料流入口10より試料ガス7を供給出来るようになっている。試料導入口10は、ステンレス配管内に形成されたスリット(絞り)11を介して分岐管12が接続されている。分岐管12の一方の出口は被試料導入装置2へ試料ガス7を供給するための試料導入口13となっている。また、分岐管12のもう一方の出口は圧力制御手段14に接続されたあと排気8aされ、被試料導入装置2の排気は流量制御手段15を通して排気8bされる。更に、本実施の形態による試料導入装置1では、試料流入口10、分岐管12、試料導入口13が加熱手段16により所定の温度に加熱されている。

請求項（抜粋）：

ガスの流れ方向に沿って、試料流入口、スリット、分岐管、被試料導入装置への試料導入口で構成され、分岐管の他の一方の出口に圧力制御手段を備え、被試料導入装置の排気口に流量制御手段を備えることを特徴とする試料導入装置。

IPC (4件)：

G01N 27/62 ,  G01M 3/04 ,  G01M 3/28 ,  H01J 49/04

FI (5件)：

G01N 27/62 F ,  G01M 3/04 C ,  G01M 3/28 D ,  G01M 3/28 E ,  H01J 49/04