特許
J-GLOBAL ID：200903014152319408
ドレスボード付ダイシングブレード
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
京本 直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-114953
公開番号（公開出願番号）：特開平10-275786
出願日： 1997年03月28日
公開日（公表日）： 1998年10月13日
要約：
【要約】【課題】ウエハの構造,材料の変化により、ダイシングにて使用するブレードの目つぶれを防ぎ、その処置作業(目立て)を排除する。【解決手段】ダイシングブレード2の切削面にドレスボード1を常設し、ワークの切削とドレスを同期させる。
請求項（抜粋）：
シートに接着されたウエハと、前記シートを固定するステージと、前記ウエハの切削を行い個々のペレットに切断分離するダイシングブレードと、このダイシングブレードの上面に設けられたドレスボードとを有することを特徴とするドレスボード付ダイシングブレード。
FI (2件)：
H01L 21/78 M
, H01L 21/78 F
