特許
J-GLOBAL ID：200903014152940455
マイクロ波プラズマ発生トーチ管
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-157745
公開番号（公開出願番号）：特開平6-005384
出願日： 1992年06月17日
公開日（公表日）： 1994年01月14日
要約：
【要約】【目的】ドーナツプラズマを発生させるための二重管構造のマイクロ波プラズマ発生トーチ管において、内管前面平坦部分がプラズマによりスパッターされることを防いで、極微量元素分析装置の感度の向上を図る。【構成】内管前面の平坦部分を後退させることで、プラズマから距離を大きくし、スパッターの程度を小さくした。
請求項（抜粋）：
外管と内管からなり、該内管の先頭部分の外形がカップ状であるマイクロ波プラズマ発生トーチ管において、該内管の先頭部分の前面平坦部分の一部を後退させたことを特徴とするマイクロ波プラズマ発生トーチ管。
IPC (2件)：
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