特許
J-GLOBAL ID：200903014157885266
エアーギャップ型ファブリペローエタロン
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴木 均
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-089940
公開番号（公開出願番号）：特開2001-281443
出願日： 2000年03月28日
公開日（公表日）： 2001年10月10日
要約：
【要約】【課題】 エアーギャップ型ファブリペローエタロンにおいて、平行平板状の透明基板をスペーサを介して接合することにより構成されていた従来タイプの欠点である部品点数の増大によるコストアップと、構成部品を組み付ける作業性の悪化と、バッチ処理による生産性の向上が困難であるという不具合を解消する。【解決手段】 片面に反射面を備えた2枚の透明基板を所定の空隙を隔てて反射面同士が平行に対向するように組み付けたエアーギャップ型ファブリペローエタロンにおいて、透明基板2は、その反射面3側の中央部に光を入出射させる所定の板厚からなる平行平板構造の使用領域5と、該使用領域周縁の少なくとも2つの辺に沿って夫々一体的に突設され且つ該使用領域の板厚よりも厚い枠領域6を有し、2つの透明基板を、各枠領域の上面同士を接合して一体化することにより内部に空隙Gを形成した。
請求項（抜粋）：
片面に反射面を備えた2枚の透明基板を所定の空隙を隔てて反射面同士が平行に対向するように組み付けたエアーギャップ型ファブリペローエタロンにおいて、前記透明基板は、その反射面側の中央部に光を入出射させる所定の板厚からなる平行平板構造の使用領域と、該使用領域周縁の少なくとも2つの辺に沿って夫々一体的に突設され且つ該使用領域の板厚よりも厚い枠領域を有し、2つの前記透明基板を、前記各枠領域の上面同士を接合して一体化することにより内部に空隙を形成したことを特徴とするエアーギャップ型ファブリペローエタロン。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (8件)：
2G020CA12
, 2G020CB06
, 2G020CC23
, 2H048GA13
, 2H048GA15
, 2H048GA26
, 2H048GA30
, 2H048GA48
