特許
J-GLOBAL ID：200903014162824399
インゴットスライサメタル固定装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
須山 佐一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-043691
公開番号（公開出願番号）：特開平6-254842
出願日： 1993年03月04日
公開日（公表日）： 1994年09月13日
要約：
【要約】【目的】メタルインゴットをベースに接着したり、切断中のウェーハにバキュームチャックを吸着させたりすることなく固定できるメタルインゴット固定装置。【構成】回転ブレード3の一側に位置してメタルインゴット1の周囲に逆位相で前記インゴットの半径方向、軸方向の往復運動を行うAロッド6、Bロッド7を交互に設け、前記ブレード3の他側に位置して前記各ロッドに対向し対向する、ロッドと逆位相の半径方向、軸方向の往復運動を行うA1 ロッド、B1 ロッド9を設け、これ等各ロッドの前記各往復運動を前記ブレード3の動きと同期、連動させることにより、メタルインゴット1の切断、送り、ウェーハの回収を自動的になし得るようにしたもの。
請求項（抜粋）：
スライサの回転ブレードの一側に位置してメタルインゴット1の周囲に円周上に配置して、前記インゴットの半径方向、軸方向の往復運動を互いに逆位相で行うAロッド、Bロッドを交互に設け、前記回転ブレードの他側に位置して前記各ロッドに対向し対向する、それぞれのロッドと逆位相の半径方向、軸方向の往復運動を行うA1 ロッド、B1 ロッドを設け、これ等各ロッドの前記各往復運動を前記回転ブレードの動きと同期、連動させることにより、メタルインゴットの切断、送り、ウェーハの回収を自動的になし得るようにしたことを特徴とするインゴットスライサメタル固定装置。
IPC (2件)：
B28D 7/04
, H01L 21/304 311
