特許
J-GLOBAL ID:200903014174212933

散乱光測定装置及び散乱光測定方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 岡本 啓三
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平6-006493
公開番号(公開出願番号):特開平7-072011
出願日: 1994年01月25日
公開日(公表日): 1995年03月17日
要約:
【要約】 (修正有)【目的】散乱光についての信頼性の高い波数データや強度データを短時間に取得し、ノイズを低減して微弱なラマン散乱光を確実に検出する。【構成】励起光を出射する光源1と、既知の発光線スペクトルを有する第1の基準光を出射する第1の基準光源2と、既知の分光エネルギ強度を有する第2の基準光を出射する第2の基準光源8と、励起光の照射により被測定試料7から出射された散乱光又は基準光源2又は8から出射された基準光を入射し、分光する分光器3と、基準光源2及び8のうち基準光を出射する基準光源2又は8を選択する選択手段10と、分光器3への散乱光の入射と基準光の入射とを切り換える切替え手段4aと、分光器3を通った散乱光又は基準光を検出する光検出器5と、検出された散乱光の強度を強度補正因子により補正する波数校正及び強度補正手段11とを有する。
請求項(抜粋):
励起光を出射する光源(1)と、既知の発光線スペクトルを有する第1の基準光を出射する第1の基準光源(2)と、前記励起光の照射により被測定体(7)から出射された散乱光又は前記第1の基準光源(2)から出射された前記基準光を入射し、分光する分光器(3)と、前記分光器(3)への前記散乱光の入射と前記基準光の入射を切り換える切替え手段(4)と、前記分光器(3)を通った前記散乱光又は前記基準光を検出する光検出器(5)と、前記分光器(3)を通った前記光のスペクトルと前記発光線スペクトルとの比較から波数誤差を取得して、検出された前記散乱光の波数を前記波数誤差により校正する波数校正手段(6)とを有する散乱光測定装置。
IPC (2件):
G01J 3/44 ,  G01J 3/02

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