特許

J-GLOBAL ID：200903014177589167

加速度センサ

発明者： 椎木 正和
出願人/特許権者： オムロン株式会社
代理人 (1件)： 中野 雅房
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-330062
公開番号（公開出願番号）：特開平5-142246
出願日： 1991年11月18日
公開日（公表日）： 1993年06月08日
要約：

【要約】【目的】 環境温度によらず高精度の測定ができる加速度センサを提供する。【構成】 枠型をしたフレ-ム1の中央にマス部2を配設し、フレーム1にマス部2を4本のビ-ム3によって両持ち状に弾性支持する。フレ-ム1の上面及び下面にカバ-4及びベース5を接着する。マス部2の上面に薄膜永久磁石6を形成し、カバ-4の内面に、上記薄膜永久磁石6と対向させて磁界の変化を検出するためのコイル7を形成する。

請求項（抜粋）：

弾性を有するビームによりマス部を揺動自在に支持し、このマス部に永久磁石を設け、当該マス部に対向させて磁界の変化を検出するためのコイルを設けた加速度センサ。