特許
J-GLOBAL ID：200903014184459112

石英ガラスルツボの表面改質方法と表面改質ルツボ

発明者：
辻 義行

辻 義行 について

, 
辻元 俊夫

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出願人/特許権者：
ジャパンスーパークォーツ株式会社

ジャパンスーパークォーツ株式会社 について


代理人 (1件)： 千葉 博史
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-157232
公開番号（公開出願番号）：特開2003-192391
出願日： 2002年05月30日
公開日（公表日）： 2003年07月09日
要約：
【要約】【課題】 ルツボ表面の結晶化促進剤を含む透明コーテング層を有する表面改質石英ガラスルツボと表面改質方法を提供する。【解決手段】 石英ガラスルツボの表面に、金属塩とアルコキシシランオリゴマーの部分加水分解物とを含む混合液をコーテングして焼成し、シリカ質マトリックス中に金属酸化物または金属炭酸塩からなる結晶化促進剤が分散した透明コーテング層を表面に有する単結晶引き上げ用石英ガラスルツボを得る。このルツボは透明コーテング層がルツボに焼き付けられて一体に形成されているので剥離することがなく、コーテング層に含まれる結晶化促進剤の付着状態が均一に維持されるので、ルツボ表面に結晶核が均一に形成され、高い単結晶化率を達成することができる。
請求項（抜粋）：
金属塩とアルコキシシランオリゴマーの部分加水分解物とを含む混合液(以下、シリカゾル液と云う)をルツボ表面にコーテングし、これを焼成して、シリカ質マトリックス中に上記金属塩に由来する結晶化促進剤を含む透明コーティング層を形成することを特徴とする石英ガラスルツボの表面改質方法。
IPC (5件)：
C03C 17/25 ,  C03B 20/00 ,  C30B 15/10 ,  C30B 29/06 502 ,  F27D 1/00
FI (5件)：
C03C 17/25 A ,  C03B 20/00 H ,  C30B 15/10 ,  C30B 29/06 502 B ,  F27D 1/00 K
Fターム (15件)：
4G014AH00 ,  4G059AA04 ,  4G059AC30 ,  4G059EA01 ,  4G059EA05 ,  4G059EA11 ,  4G059EA18 ,  4G059EB07 ,  4G077AA02 ,  4G077BA04 ,  4G077CF10 ,  4G077EG02 ,  4G077HA12 ,  4G077PD01 ,  4K051BD01
引用特許：
審査官引用 (3件)

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