特許
J-GLOBAL ID：200903014186765067
透明導電膜の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
泉名 謙治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-316215
公開番号（公開出願番号）：特開平6-150742
出願日： 1992年10月30日
公開日（公表日）： 1994年05月31日
要約：
【要約】【構成】塩化錫や塩化インジウムの溶液を噴霧熱分解によって透明導電膜を形成するときの薬液中に、金属イオンにキレート配位するβ-ジケトンやβ-ケト酸エステルを添加しておく。【効果】金属塩化物の易分解性を抑え、基体に到着する前に塩化物が分解して酸化物粒子が基体上に堆積することにより膜の透明性が低下するのを防ぐことができる。
請求項（抜粋）：
塩化錫または/かつ塩化インジウムと、金属イオンにキレート配位するβ-ジケトンあるいはβ-ケト酸エステルを含む薬液を、加熱した基体上にスプレーすることによって透明導電膜を得る透明導電膜の製造方法。
IPC (4件)：
H01B 13/00 503
, C03C 17/28
, G02F 1/1343
, H01B 5/14
