特許

J-GLOBAL ID：200903014187838238

密封式超精密微動装置

発明者： 宗片 睦夫 ,  松野 晋 ,  川崎 浩二 ,  小野 昭一
出願人/特許権者： 秩父小野田株式会社
代理人 (1件)： 斎藤 侑 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-063330
公開番号（公開出願番号）：特開平7-270559
出願日： 1994年03月31日
公開日（公表日）： 1995年10月20日
要約：

【要約】【目的】装置の小型化を図るとともに、圧電素子の破損を防止する。【構成】取付フランジ2に固着した圧電素子1にキャップ3を被せて密封した超精密微動装置であって;該キャップ3が、直筒状の胴部3aと該胴部の先端に設けた伸縮自在な頭部3cとを備え、該頭部に受部3dと伸縮部3eとを設け、圧電素子の先端にボールジョイント4の半球5を固定し、該半球5を前記受部3dに嵌着する。

請求項（抜粋）：

圧電素子にキャップを被せて密封した超精密微動装置であって;該キャップが、直筒状の胴部と該胴部の先端に設けた伸縮自在な頭部とを備えていることを特徴とする密封式超精密微動装置。

IPC (5件)：

G12B 5/00 ,  H01L 41/083 ,  H01L 41/09 ,  B23Q 5/22 520 ,  B23Q 5/28

FI (2件)：

H01L 41/08 R ,  H01L 41/08 J

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開昭63-195589
  
• 特開昭59-193078