特許

J-GLOBAL ID：200903014190735946

銅溶解剤

発明者： 井谷 勝利 ,  平井 旭 ,  宮代 容子 ,  南部 忠彦 ,  藤田 敏雄 ,  有松 一比古
出願人/特許権者： 東海電化工業株式会社 ,  キレスト株式会社
代理人 (1件)： 斉藤 武彦 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-361870
公開番号（公開出願番号）：特開平6-192855
出願日： 1992年12月24日
公開日（公表日）： 1994年07月12日
要約：

【要約】【目的】 銅の溶解速度が大で過酸化水素安定性の高い銅溶解剤を提供する。【構成】 過酸化水素、鉱酸、テトラゾール化合物、脂肪族アミン及びモノ-もしくはジ-エチレングリコールフェニルエーテルを組合せた水溶液により銅溶解剤を形成する。

請求項（抜粋）：

過酸化水素、鉱酸、テトラゾール化合物、脂肪族アミン及びモノ-もしくはジ-エチレングリコールフェニルエーテルを必須成分として含有する水溶液からなることを特徴とする銅溶解剤。

IPC (2件)：

C23F 1/18 ,  H05K 3/06