特許

J-GLOBAL ID：200903014191747034

高感度力検出のための超小型化ねじれキャンティレバー

発明者： ミラー,スコット・エイ ,  マクドナルド,ノエル・シー ,  フ,ヤン
出願人/特許権者： コーネル・リサーチ・ファンデーション・インコーポレイテッド
代理人 (1件)： 青山 葆 (外1名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-506821
公開番号（公開出願番号）：特表平11-515092
出願日： 1996年07月19日
公開日（公表日）： 1999年12月21日
要約：

【要約】ねじれキャンティレバーを、その共鳴振動数と走査速度を増し、並列走査に供するために多数一列に組立可能にするために、縮小したサイズに超小型化する。キャンティレバーは、高感度力検出のために、チップを組み入れてもよい。装置は、好ましくは、キャンティレバーアームと、装置の外側端に固定された横に伸長しているねじれビームの反対側に搭載されたカウンターバランスを含む。センサーは、キャンティレバーアームの回転を検出し、フィードバックループを通ってセンサー位置決めの制御を提供できる。

請求項（抜粋）：

次のものから成る力センサー。 単結晶シリコン基板、 当該基板から形成されて一体化されたモーメントアームと支持ビームとを含むねじれ据え付けキャンティレバーで、当該キャンティレバーモーメントアームが、当該基板に関して当該支持ビーム周りの運動を測定するために力に応答性があるキャンティレバー、及び、 当該運動を検出するための検出器手段。

IPC (3件)：

G01N 37/00 ,  G01B 21/30 ,  G01L 1/14

FI (3件)：

G01N 37/00 L ,  G01B 21/30 Z ,  G01L 1/14 K