特許
J-GLOBAL ID：200903014205439150
静電チャック及び静電チャックにおける被吸着物離脱方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高橋 詔男 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-104761
公開番号（公開出願番号）：特開2001-291763
出願日： 2000年04月06日
公開日（公表日）： 2001年10月19日
要約：
【要約】【課題】 ウエハ等の被吸着物の吸着保持に必要な吸着力を損なうことがない上に、被吸着物の離脱時における被吸着物の跳ねや片上がり等の不具合もなく、被吸着物の安定した搬送を可能とする、静電チャック及び静電チャックにおける被吸着物離脱方法の提供を課題とする。【解決手段】 静電チャックにおいては、ウエハ10が載置されるとともに同心円状に複数分割された静電吸着電極11a,11bと、静電吸着電極11aを昇降させる電極昇降駆動機構12とを備えた構成を採用した。また、静電チャックにおける被吸着物離脱方法においては、各静電吸着電極11aを上昇させてウエハ10を一旦持ち上げる第1の被吸着物上昇工程の後、残りの静電吸着電極11b,11aまたはリフトピン13でウエハ10をさらに持ち上げる第2の被吸着物上昇工程を行う方法を採用した。
請求項（抜粋）：
静電力によりウエハ等の被吸着物を吸着保持する静電チャックにおいて、前記被吸着物が載置されるとともに同心円状に複数分割された静電吸着電極と、これら静電吸着電極の中の少なくとも1つを昇降させる電極昇降駆動機構とを備えたことを特徴とする静電チャック。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/68 R
, B23Q 3/15 D
3C016AA01
, 3C016BA02
, 3C016CE05
, 3C016GA10
, 5F031CA02
, 5F031HA17
, 5F031HA19
, 5F031HA33
, 5F031HA35
