特許

J-GLOBAL ID：200903014209221116

熱伝導式絶対湿度センサ

発明者： 武田 光之 ,  敦賀 紀久夫 ,  大野 留治 ,  岩田 伸一
出願人/特許権者： 株式会社トーキン
代理人 (1件)： 後藤 洋介 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-025096
公開番号（公開出願番号）：特開平5-223770
出願日： 1992年02月12日
公開日（公表日）： 1993年08月31日
要約：

【要約】【目的】 測定雰囲気と基準雰囲気との熱特性の均衡を保つことで、正確な湿度検知が行える熱伝導式絶対湿度センサを提供する。【構成】 湿度を測定しようとする測定雰囲気100に晒された感熱抵抗素子1と、所定の湿度を有する基準雰囲気200に晒された感熱抵抗素子2とを備え、感熱抵抗素子1および2は実質的に同一の抵抗特性を有するものであって、感熱抵抗素子1および2それぞれに等しい電流量の電流を流し、感熱抵抗素子1および2を自己発熱させ、感熱抵抗素子1および2の上昇温度差による感熱抵抗素子1および2の抵抗値差に基づいて測定雰囲気100の湿度を検出する熱伝導式絶対湿度センサにおいて、感熱抵抗素子1および2が同一面上に形成されたセラミックから成る基板11と、基板11に焼結接合され、測定雰囲気100および基準雰囲気200が湿度同一のときに同一熱特性となるように測定雰囲気100および基準雰囲気200を規定する、セラミックから成る容器である枠12、13および蓋14、15とを有する

請求項（抜粋）：

湿度を測定しようとする測定雰囲気に晒された第1の感熱抵抗素子と、所定の湿度を有する基準雰囲気に晒された第2の感熱抵抗素子とを備え、該第1および第2の感熱抵抗素子は実質的に同一の抵抗特性を有するものであって、前記第1および第2の感熱抵抗素子それぞれに等しい電流量の電流を流し、該第1および第2の感熱抵抗素子を自己発熱させ、該第1および第2の感熱抵抗素子の上昇温度差による該第1および第2の感熱抵抗素子の抵抗値差に基づいて前記測定雰囲気の湿度を検出する熱伝導式絶対湿度センサにおいて、前記第1および第2の感熱抵抗素子が同一面上に形成されたセラミックから成る基板と、該基板に焼結接合され、前記測定雰囲気および前記基準雰囲気が湿度同一のときに同一熱特性となるように該測定雰囲気および該基準雰囲気を規定する、セラミックから成る容器とを有することを特徴とする熱伝導式絶対湿度センサ。

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平1-193638
  
• 特開平2-213759
  
• 特開昭56-049951