特許

J-GLOBAL ID：200903014210154252

誘電体蒸着物を有するプラスチックフィルムの製造方法と装置およびプラスチックフィルム

発明者： アンドレア フージ ,  カルロ ミシアーノ ,  フランチェスコ スタフェッティ
出願人/特許権者： ガリレオ バキューム テク エス.ピー.エー. ,  コンソルジオ セ.テ.ブイ. セントロ テクノロジー デル ブオト
代理人 (1件)： 笹島 富二雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-016554
公開番号（公開出願番号）：特開平8-277463
出願日： 1996年02月01日
公開日（公表日）： 1996年10月22日
要約：

【要約】【課題】 酸素や水分に対する充分な障壁を備え、同時に高い透明度を有するプラスチックフィルムを安価に提供する。【解決手段】 解離して酸素を遊離する傾向のある少なくとも1種類の酸化物の蒸発によって発生する亜酸化物からなる第1の材料と、ゲッター効果を有する少なくとも1種類の金属酸化物からなる第2の材料との同時蒸着によって得られる、真空蒸着された混合酸化物の誘電体蒸着物を有するプラスチックフィルムの製造方法。蒸着物とフィルムとの間の界面から蒸着物の外表面にかけての、ゲッター効果金属および/またはその化合物の割合変化と、蒸着物とフィルムとの間の界面から蒸着物の外表面にかけての、亜酸化物の逆方向の割合変化とによる、層自体の厚さに沿った組成変化を有する層の蒸着が提供される。

請求項（抜粋）：

解離して酸素を遊離する傾向のある少なくとも1種類の酸化物の蒸発の結果として発生する亜酸化物からなる第1の材料と、少なくとも1種類のゲッター効果を有する金属の酸化物からなる第2の材料との同時蒸着をプラスチックフィルム上に行い、蒸着物とフィルムとの間の界面から蒸着物の外表面にかけての前記ゲッター効果金属および/またはその化合物の割合の変化と、蒸着物とフィルムとの間の界面から蒸着物の外表面にかけての逆方向での前記亜酸化物の割合の変化とにより、層自体の厚さに沿った組成変化を有する層を蒸着することを特徴とする、誘電体蒸着物を有するプラスチックフィルムの製造方法。

IPC (4件)：

C23C 14/20 ,  B32B 15/08 ,  C23C 14/08 ,  C23C 14/24

FI (4件)：

C23C 14/20 Z ,  B32B 15/08 A ,  C23C 14/08 A ,  C23C 14/24 V