特許
J-GLOBAL ID：200903014213627852
感光性樹脂組成物及びこれを用いた感光性エレメント
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
若林 邦彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-354262
公開番号（公開出願番号）：特開平11-184081
出願日： 1997年12月24日
公開日（公表日）： 1999年07月09日
要約：
【要約】【課題】 良好なレジスト形状と低スカムを保持しつつ、テント信頼性に優れ、且つ解像度が良好な感光性樹脂組成物並びに良好なレジスト形状と低スカムを保持しつつ、テント信頼性に優れ、且つ解像度、塗膜形成性、光硬化性及び感度が優れる感光性エレメントを提供する。【解決手段】 (A)バインダーポリマー、(B)一般式(I)【化1】〔式中、Rは水素原子または炭素数1〜3のアルキル基を示し、R1及びR2は、各々独立に、【化2】を示し(ここでメチン基は、どちらの向きに結合していてもよい)、m、n及びpは、各々独立に1〜30の整数である〕で表される化合物を必須成分として含む、分子内に重合可能なエチレン性不飽和基を有する光重合性化合物及び(C)光重合開始剤を含有してなる感光性樹脂組成物並びにこの感光性樹脂組成物の層を支持体上に積層してなる感光性エレメント。
請求項（抜粋）：
(A)バインダーポリマー、(B)一般式(I)【化1】〔式中、Rは水素原子または炭素数1〜3のアルキル基を示し、R1及びR2は、各々独立に、【化2】を示し(ここでメチン基は、どちらの向きに結合していてもよい)、m、n及びpは、各々独立に1〜30の整数である〕で表される化合物を必須成分として含む、分子内に重合可能なエチレン性不飽和基を有する光重合性化合物及び(C)光重合開始剤を含有してなる感光性樹脂組成物。
IPC (3件)：
G03F 7/027 502
, G03F 7/004 512
, H05K 3/06
G03F 7/027 502
, G03F 7/004 512
, H05K 3/06 J
