特許

J-GLOBAL ID：200903014219157726

電子線縮小転写装置及びアライメント方法

発明者： 藤原 朋春
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-100660
公開番号（公開出願番号）：特開2000-294494
出願日： 1999年04月07日
公開日（公表日）： 2000年10月20日
要約：

【要約】【目的】精度良くアライメントを行うことができる電子線縮小転写装置及びその装置を用いたアライメント方法を提供する。【解決手段】電子銃と、照明系と、投影系と、偏向器系と、前記照明系と前記投影系との間に所定のパターンが形成されたマスクを保持するマスクステージ部と、前記投影系の下側に感光基板を保持するウエハステージ部とを有する電子線縮小転写装置において、前記マスクステージ部及び前記ウエハステージ部上の各々の所定の位置に複数の指標マークが形成されていることを特徴とする電子線縮小転写装置。

請求項（抜粋）：

電子銃と、照明系と、投影系と、偏向器系と、前記照明系と前記投影系との間に所定のパターンが形成されたマスクを保持するマスクステージ部と、前記投影系の下側に感光基板を保持するウエハステージ部とを有する電子線縮小転写装置において、前記マスクステージ部及び前記ウエハステージ部上の各々の所定の位置に複数の指標マークが形成されていることを特徴とする電子線縮小転写装置。

IPC (4件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 504 ,  G03F 9/00 ,  H01L 21/68

FI (5件)：

H01L 21/30 541 K ,  G03F 7/20 504 ,  G03F 9/00 H ,  H01L 21/68 F ,  H01L 21/30 541 S

Fターム (21件)：

2H097AA03 ,  2H097CA16 ,  2H097KA03 ,  2H097KA14 ,  2H097LA10 ,  5F031CA02 ,  5F031FA01 ,  5F031FA07 ,  5F031JA01 ,  5F031JA14 ,  5F031JA28 ,  5F031JA49 ,  5F031JA51 ,  5F031KA05 ,  5F031MA27 ,  5F031PA11 ,  5F056AA27 ,  5F056BD02 ,  5F056BD03 ,  5F056FA06 ,  5F056FA10