特許
J-GLOBAL ID：200903014230872135
ガスレーザ発振装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
岩橋 文雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-180268
公開番号（公開出願番号）：特開2000-012925
出願日： 1998年06月26日
公開日（公表日）： 2000年01月14日
要約：
【要約】【課題】 レーザガス中に不純物が混入したり、ガス混合比などが変化した際、放電を継続すると放電管内の放電が不安定になり変動する。そのため微少放電電流が接続管体内部のレーザガス中を流れ、共振器内部鏡である全反射鏡および部分反射鏡を劣化させるという問題があった。【解決手段】 接続管体内部のレーザガス中を流れる微少放電電流をセンサなどで検出し、制御回路によりセンサからの出力信号を基準信号と比較し放電管に注入する放電エネルギーを減少または停止することで微少放電電流の発生を抑制する。
請求項（抜粋）：
レーザガスを内部に有する放電管と、前記放電管にエネルギーを供給する電源と、前記放電管に配置された共振器内部鏡と、前記共振器内部鏡近傍の外側の一部または全部を囲うための金属筐体を備え、前記金属筐体内における前記共振器内部鏡近傍を流れる微少放電電流により発生する電磁波を検出するためのセンサを設け、前記センサからの出力信号を基準信号と比較し前記放電管に注入するエネルギーを制御するための制御回路を設けたガスレーザ発振装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (6件)：
5F071AA05
, 5F071DD08
, 5F071EE02
, 5F071HH02
, 5F071JJ05
, 5F071JJ09
