特許

J-GLOBAL ID：200903014232931651

電子デバイスの製造の終点検出

発明者： グリムバーゲン, マイケル, エヌ. ,  リル, サーステン, ビー.
出願人/特許権者： アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド
代理人 (1件)： 長谷川 芳樹 (外1名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-610057
公開番号（公開出願番号）：特表2002-541663
出願日： 2000年03月16日
公開日（公表日）： 2002年12月03日
要約：

【要約】【課題】電子デバイスの製造の終点検出を提供する【解決手段】 チャンバ28は、基板上の層22の厚さの中に予定された経路の長さの中で実質的に吸収される波長を有する放射を発することが可能な放射ソース58と、放射を検出するために構成される放射検出器62とを備える。この放射は、層22の第1の厚さの中に実質的に吸収され、また層22の少なくとも一部が処理された後に、この放射の少なくとも一部が層22の第2の厚さのンかを伝わり、そして基板20の一つ以上の下層24により反射される。

請求項（抜粋）：

基板を処理するためのチャンバであって、(a)基板上の層の厚さに予定された経路の長さの中で実質的に吸収される波長を有する放射を発することが可能な放射ソースと、(b)放射を検出するに適している放射検出器とを有するチャンバ。

IPC (4件)：

H01L 21/3065 ,  C23C 14/54 ,  C23C 16/52 ,  H01L 21/205

FI (4件)：

C23C 14/54 E ,  C23C 16/52 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/302 E

Fターム (21件)：

4K029CA01 ,  4K029CA03 ,  4K029CA05 ,  4K029CA10 ,  4K029EA01 ,  4K030KA39 ,  4K030LA15 ,  5F004BD04 ,  5F004CA02 ,  5F004CA08 ,  5F004CB02 ,  5F004CB15 ,  5F004DA00 ,  5F004DA01 ,  5F004DA04 ,  5F004DA17 ,  5F004DA18 ,  5F004DA25 ,  5F004DA26 ,  5F045GB09 ,  5F045GB15