特許
J-GLOBAL ID：200903014233448776
ウェーハの洗浄装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
國分 孝悦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-275508
公開番号（公開出願番号）：特開平6-104236
出願日： 1992年09月18日
公開日（公表日）： 1994年04月15日
要約：
【要約】【目的】 洗浄前にウェーハに蒸気を供給し表面を親水性にして均一な洗浄機能を持つウェーハの洗浄装置を提供する。【構成】 チャンバー1a内に水蒸気11を供給し、ウェーハ3の表面に自然酸化膜を形成させ、ウェーハ3の表面を親水化する。ウェーハ3をチャンバー1b内に搬送し、フッ化水素ガス又はフッ化水素蒸気9によりウェーハ3を洗浄する。ウェーハ3の表面を親水化しているので、フッ化水素ガス又はフッ化水素蒸気でも容易に洗浄される。【効果】 洗浄時にウェーハ表面状態にかかわらず洗浄ムラ、曇りが発生することなく、デバイス特性を低下させる要因が防止され、極めて高清浄度な洗浄が可能となる。
請求項（抜粋）：
ウェーハを水蒸気雰囲気中でフッ化水素ガス又はフッ化水素蒸気により洗浄することを特徴とするウェーハの洗浄装置。
IPC (3件)：
H01L 21/304 341
, H01L 21/304
, B08B 3/08
