特許

J-GLOBAL ID：200903014235534840

圧電機能部品の製造方法及びその製造装置

発明者： 村嶋 祐二 ,  小牧 一樹 ,  中谷 将也
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 岩橋 文雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-103284
公開番号（公開出願番号）：特開2003-298137
出願日： 2002年04月05日
公開日（公表日）： 2003年10月17日
要約：

【要約】【課題】 本発明は分極処理時に圧電層が破壊されない圧電機能部品の製造方法を提供することを目的とする。【解決手段】 基板の表面に少なくとも下部電極層、圧電層及び上部電極層を順次積層形成し、上記上下部電極層間に電圧を印加して圧電層の分極処理を行う際に、接地電位に対して正もしくは負のどちらか一方にバイアスされた高周波電圧を印加して圧電層の分極処理を行う。

請求項（抜粋）：

基板の表面に少なくとも下部電極層、圧電層及び上部電極層を順次積層形成し、上記上下部電極層に電圧を印加して圧電層の分極処理を行う際に、接地電位に対して正若しくは負のどちらか一方にバイアスされた高周波電圧を印加して圧電層の分極処理を行う圧電機能部品の製造方法。