特許
J-GLOBAL ID：200903014235782487
狭帯域エキシマレーザ装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
後藤 洋介 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-004824
公開番号（公開出願番号）：特開平9-199780
出願日： 1996年01月16日
公開日（公表日）： 1997年07月31日
要約：
【要約】【課題】 発振波長を高精度に安定化することができる狭帯域エキシマレーザ装置を提供する。【解決手段】 ArFエキシマレーザ発生部11による発振波長が規準波長に対して安定するようにフィードバック制御を行う発振波長制御手段を有している。この発振波長制御手段は、吸収物質としてO2 を用いた吸収セルとしての高温ガスセル12を備え、高温ガスセル12にArFエキシマレーザ発生部11からのレーザ光の一部を入射し、通常のO2 ガスでは存在しないO2 の励起振動準位からの回転-振動吸収バンドを規準波長として用いる。
請求項（抜粋）：
狭帯域エキシマレーザ発生部による発振波長が規準波長に対して安定するようにフィードバック制御を行う発振波長制御手段を有する狭帯域エキシマレーザ装置において、前記発振波長制御手段は、吸収物質としてO2 を用いた吸収セルを備え、該吸収セルに前記狭帯域エキシマレーザ発生部からのレーザ光の一部を入射し、O2 の励起振動準位からの回転-振動吸収バンドを規準波長として用いるものであることを特徴とする狭帯域エキシマレーザ装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
引用特許：
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