特許
J-GLOBAL ID：200903014238339193
水酸化テトラアルキルアンモニムの再生方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
米澤 明 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-188507
公開番号（公開出願番号）：特開平7-041979
出願日： 1993年07月29日
公開日（公表日）： 1995年02月10日
要約：
【要約】【目的】 ポジ型レジストの現像液として使用される水酸化テトラアルキルアンモニウムを現像液の廃液から再生する。【構成】 水酸化テトラアルキルアンモニウムを主成分とするポジ型レジストの現像液の廃液を中和処理して、溶存しているアルカリ可溶性の有機物を析出させて除去した後に、陽イオン交換膜で区画した電解槽の陽極室において電気分解をする際に、陽極室において陽極酸化するとともに、陰極室から取り出した水酸化テトラアルキルアンモニウム水溶液を更に他の電解槽の陽極室に導入して多段電解するか、あるいは2枚以上の陽イオン交換膜によって3室以上に区画した電解槽の陽極室に導入して多室電解し、中間室の電解液を有機分解用電解槽に循環しながら電解し、最終段の電解槽の陰極室あるいは多室電解槽の陰極室から現像液として再利用することができる水酸化テトラアルキルアンモニウムを得る。
請求項（抜粋）：
有機物を不純物として含んだ使用済みのテトラアルキルアンモニウム化合物を含む水溶液を中和処理し、不溶性成分を分離除去した後に陽イオン交換膜で区画した電解槽の陽極室に供給して、陰極室より水酸化テトラアルキルアンモニウムを得る際に、1段目の電解槽から得られた陰極液を次段の電解槽の陽極室に供給して電気分解し、陰極室から水酸化テトラアルキルアンモニウムを得るとともに、少なくともいずれかの電解槽の陽極室において不純物として含有する有機物の陽極酸化を行うことを特徴とする水酸化テトラアルキルアンモニウムの再生方法。
IPC (4件)：
C25B 3/00
, C02F 1/461
, G03F 7/30
, H01L 21/027
C02F 1/46 101 C
, H01L 21/30 569 E
