特許

J-GLOBAL ID：200903014238497899

ポジ型感光性樹脂組成物

発明者： 高木 良博
出願人/特許権者： 富士フイルムアーチ株式会社
代理人 (1件)： 小栗 昌平 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-308684
公開番号（公開出願番号）：特開2003-114529
出願日： 2001年10月04日
公開日（公表日）： 2003年04月18日
要約：

【要約】【課題】アルカリ性水溶液で現像でき、高感度であり、しかも、高解像性、現像性、耐熱性、耐薬品性、基板との密着性、透明性、絶縁性等の諸特性の優れたパターン状薄膜を容易に形成することができる感光性樹脂組成物、更には、上記諸特性と同時に低誘電特性の優れたパターン状薄膜を容易に形成することができる感光性樹脂組成物及びそれを用いたパターン形成方法を提供すること。【解決手段】少なくともベンジル(メタ)アクリレート、アクリル酸またはメタクリル酸、及びヒドロキシアルキルエステルを構成単位として有する共重合体からなるアルカリ可溶性樹脂、1,2-ナフトキノンジアジド基含有化合物、及び架橋剤を少なくとも含むポジ型感光性樹脂組成物。前記ポジ型感光性樹脂組成物を、塗布、第1露光、現像、第2露光、加熱処理を順次行う工程において、第2露光の光量が、第1露光の0.5〜15倍であることを特徴とするパターン形成方法。

請求項（抜粋）：

少なくともベンジル(メタ)アクリレート、アクリル酸またはメタクリル酸、及びヒドロキシアルキルエステルを構成単位として有する共重合体からなるアルカリ可溶性樹脂、1,2-ナフトキノンジアジド基含有化合物、および架橋剤を含有することを特徴とするポジ型感光性樹脂組成物。

IPC (8件)：

G03F 7/033 ,  C08F220/06 ,  C08F220/18 ,  C08F220/28 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/022 601 ,  G03F 7/40 501 ,  H01L 21/027

FI (8件)：

G03F 7/033 ,  C08F220/06 ,  C08F220/18 ,  C08F220/28 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/022 601 ,  G03F 7/40 501 ,  H01L 21/30 502 R

Fターム (27件)：

2H025AA01 ,  2H025AA02 ,  2H025AA04 ,  2H025AA06 ,  2H025AB16 ,  2H025AC01 ,  2H025AD03 ,  2H025BE01 ,  2H025CB14 ,  2H025CB43 ,  2H025CB45 ,  2H025CC17 ,  2H025FA29 ,  2H025FA30 ,  2H096AA25 ,  2H096AA26 ,  2H096BA10 ,  2H096HA01 ,  2H096HA03 ,  4J100AJ02Q ,  4J100AL08P ,  4J100AL09R ,  4J100BC43P ,  4J100CA05 ,  4J100DA01 ,  4J100DA39 ,  4J100JA38