特許
J-GLOBAL ID：200903014239954061
マスフローコントローラ
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小沢 信助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-010828
公開番号（公開出願番号）：特開平6-222841
出願日： 1993年01月26日
公開日（公表日）： 1994年08月12日
要約：
【要約】【目的】 ブリッジ回路の出力信号のS/N比を改善したもので、高精度に流量の制御を行うことができる。【構成】 一対の抵抗と主ガス流路から測定ガスが分流されるセンサ管の上流側と下流側に設けられた一対の加熱コイルとによって構成されたブリッジ回路の出力信号を増幅器で増幅し、主ガス流路に流れるガス流量を制御するマスフローコントローラにおいて、ブリッジ回路に加熱コイルの熱時定数に比較して狭いパルス幅でバイアス電圧を印加するファンクション・ジェネレータと、ファンクション・ジェネレータの出力するパルス信号と同期してオン/オフし、ブリッジ回路の出力信号を増幅器に出力するスイッチ手段とを設け、バイアス電圧がブリッジ回路にパルス印加された時のブリッジ回路の出力信号をサンプルホールドして増幅器に得ることを特徴としている。
請求項（抜粋）：
一対の抵抗と主ガス流路から測定ガスが分流されるセンサ管の上流側と下流側に設けられた一対の加熱コイルとによって構成されたブリッジ回路の出力信号を増幅器で増幅し、主ガス流路に流れるガス流量を制御するマスフローコントローラにおいて、前記ブリッジ回路に前記加熱コイルの熱時定数に比較して狭いパルス幅でバイアス電圧を印加するファンクション・ジェネレータと、このファンクション・ジェネレータの出力するパルス信号と同期してオン/オフし、前記ブリッジ回路の出力信号を前記増幅器に出力するスイッチ手段とを設け、前記バイアス電圧が前記ブリッジ回路にパルス印加された時の前記ブリッジ回路の出力信号をサンプルホールドして前記増幅器に得ることを特徴としたマスフローコントローラ。
IPC (2件)：
前のページに戻る
