特許
J-GLOBAL ID：200903014246598394
イオン注入装置
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-116313
公開番号（公開出願番号）：特開平7-326317
出願日： 1994年05月30日
公開日（公表日）： 1995年12月12日
要約：
【要約】【構成】 本発明は、ウェ-ハを固定し回転するディスク21のウェ-ハ台2にウェ-ハ台スリット23を具備し、ウェ-ハ落下によるウェ-ハ台スリット23からの漏れイオンビ-ムを感知する感知部を有するメカニカルスキャン方式のイオン注入装置である。【効果】 イオン注入時のウェ-ハ落下を感知し、落下の情報により速やかに部分的に設備稼働を停止し、ウェーハクズの発生、およびウェーハクズのイオン注入装置全体への拡散を防止する。
請求項（抜粋）：
ウェーハを固定し回転するディスクのウェーハ台にスリットを具備し、ウェーハ落下による前記スリットからの漏れイオンビームを感知する感知部を有するメカニカルスキャン方式のイオン注入装置。
IPC (2件)：
H01J 37/317
, H01L 21/265
