特許
J-GLOBAL ID：200903014247123101
プラズマ発生装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
三好 祥二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-193107
公開番号（公開出願番号）：特開平7-029890
出願日： 1993年07月08日
公開日（公表日）： 1995年01月31日
要約：
【要約】【目的】構造が簡単で製作費、メンテナンスコストの安価な而もプラズマ密度が均一で且プラズマの拡散が少なく、効率のよいプラズマ発生装置を提供する。【構成】プラズマ発生用コイル26を有するプラズマ発生装置に於いて、プラズマ発生空間を囲繞するプラズマ拡散遮蔽壁31を設け、プラズマ拡散遮蔽壁により囲まれる空間にプラズマを封込め発生させ、プラズマの拡散を防止し、プラズマの発生効率を向上する。
請求項（抜粋）：
プラズマ発生用コイルを有するプラズマ発生装置に於いて、プラズマ発生空間を囲繞するプラズマ拡散遮蔽壁を設けたことを特徴とするプラズマ発生装置。
IPC (5件)：
H01L 21/3065
, C23C 16/50
, C23F 4/00
, H01L 21/205
, H05H 1/46
