特許

J-GLOBAL ID：200903014249778580

角板状用石英ガラスインゴットの製造方法及びその装置

発明者： 一ノ倉 正人 ,  露木 龍也 ,  石井 友之 ,  生野 浩人 ,  石川 安雄
出願人/特許権者： 東芝セラミックス株式会社
代理人 (1件)： 赤野 牧子 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-299728
公開番号（公開出願番号）：特開平10-130030
出願日： 1996年10月24日
公開日（公表日）： 1998年05月19日
要約：

【要約】【課題】 高純度合成石英ガラスインゴットから再溶融することなく直接的に角形状板材を製造する。【解決手段】 酸水素炎により原料珪素化合物を加水分解して生成するシリカ微粉のスートをターゲットに堆積する方法であって、回転することなくその軸方向に可動な棒形状ターゲットを配設し、該ターゲットの中心軸において互いに直交する直線の各延長線上の位置に酸水素炎バーナーを配置し、該ターゲットを軸方向に移動させると共に、該バーナの各ガス流出口の中心線の交点が、常時、該ターゲットの中心線上に位置するようにして、該ガス流出口の中心部からシリカ微粉スートを流出して該ターゲット先端部に該スートを堆積成長させ角状スート層を形成した後、焼結して石英ガラス化することを特徴とする角板状用石英ガラスインゴットの製造方法。

請求項（抜粋）：

酸水素炎により原料珪素化合物を加水分解して生成するシリカ微粉のスートをターゲットに堆積する方法であって、ターゲットに堆積するスート層を角状に形成した後、焼結して石英ガラス化することを特徴とする角板状用石英ガラスインゴットの製造方法。

IPC (3件)：

C03B 19/14 ,  C03B 8/04 ,  C03B 20/00

FI (3件)：

C03B 19/14 ,  C03B 8/04 ,  C03B 20/00