特許
J-GLOBAL ID:200903014255851272

顕微分析用の試料作成装置および方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 田中 隆秀 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平8-253313
公開番号(公開出願番号):特開平10-096684
出願日: 1996年09月25日
公開日(公表日): 1998年04月14日
要約:
【要約】【目的】 試料素材の打ち抜き切削加工の完了を確実に検知すること。【解決手段】 カッティングツール(14)を超音波振動させると同時に、カッティングツール(14)の先端を試料素材(12)に押圧して前進させ、試料素材(12)の打ち抜き切削加工を行う。この打ち抜き加工の完了の際、カッティングツール(14)の先端が試料素材(12)を貫通すると、カッティング完了検出用導電部材(9;30)に接触し、この接触をカッティング完了告知手段(26)により告知する。
請求項(抜粋):
下記の要件を備えた顕微分析用の試料作成装置、(A01)支持台により支持され且つ試料素材装着面を有する試料素材支持テーブル、(A02)前記試料素材装着面に対して進退可能に設けられたツール支持部材、(A03)前記ツール支持部材に支持され且つ前記ツール支持部材が前記試料素材装着面に向かって前進したときに前記試料素材装着面に装着された試料素材に押圧される導電材料性の円筒状のカッティングツール、(A04)前記カッティングツールを超音波振動させる超音波振動装置、(A05)前記試料素材装着面に装着された試料素材に押圧された状態で超音波振動するカッティングツールの先端が前記試料素材を貫通したときに接触するカッティング完了検出用導電部材、(A06)前記カッティング完了検出用導電部材にカッティングツールが接触したことを告知するカッティング完了告知手段。
FI (2件):
G01N 1/28 G ,  G01N 1/28 F

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