特許

J-GLOBAL ID：200903014258485935

ガス濃度計測装置

発明者： 牟田 研二 ,  田浦 昌純 ,  豊田 一郎 ,  田畑 雅之
出願人/特許権者： 三菱重工業株式会社
代理人 (1件)： 鈴江 武彦 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-309387
公開番号（公開出願番号）：特開平10-148613
出願日： 1996年11月20日
公開日（公表日）： 1998年06月02日
要約：

【要約】【課題】透明容器内のガス濃度を非破壊で連続的に高精度で計測する。【解決手段】半導体レーザダイオード1(以下、LD)と、このLD1から発するレーザ光9の発振波長を変調する変調信号を発生させる波形発生部3と、波形発生部3により発生した変調信号に基づいてLD1を制御するレーザ制御部2と、LD1から出射されたレーザ光9のうち、密封型透明容器内に封入された被測定ガスを透過したレーザ光を受光するPD4と、波形発生部3の出力信号の周波数成分の4倍周期の信号を発生させる周波数逓倍部5と、周波数逓倍部5の出力信号とPD4の出力信号に基づいて検波信号を発生させるための位相敏感検波用ロックインアンプ6と、位相敏感検波用ロックインアンプ6の出力データを記録・表示するデータ処理部7からなる。

請求項（抜粋）：

被測定ガスが封入された密封型容器にレーザ光を照射する半導体レーザ光源と、前記半導体レーザ光源を制御して所望の波長のレーザ光を出射するためのレーザ制御部と、前記半導体レーザ光源から出射されるレーザ光の発振波長に変調を与えるための変調信号を発生させる波形発生部と、前記レーザ光の照射により前記密封型容器内の被測定ガスを透過したレーザ光を受光する受光部と、前記波形発生部の出力信号の周波数成分のn(n≧2,nは整数)倍周期の信号を発生する周波数逓倍部と、前記周波数逓倍部の出力信号と前記受光部の出力信号に基づいて検波信号を発生するための位相敏感検波部とを具備したことを特徴とするガス濃度計測装置。