特許

J-GLOBAL ID：200903014264170121

固体潤滑転がり軸受

発明者： 斉藤 剛
出願人/特許権者： 日本精工株式会社
代理人 (1件)： 萩野 平 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-275014
公開番号（公開出願番号）：特開平8-152025
出願日： 1995年09月29日
公開日（公表日）： 1996年06月11日
要約：

【要約】【課題】 塵埃の発生が少なく、耐食性に優れ、半導体製造装置や液晶パネル製造装置等清浄な雰囲気を必要とする装置に好適に使用でき、また真空状態でも使用可能な固体潤滑転がり軸受を提供する。【解決手段】 固体潤滑転がり軸受は、外輪1と内輪2の間に保持器3を介して複数の転動体4を回動自在に保持して構成される。保持器3は、少なくともポケット内周面に無電解ニッケル被膜21を介してフッ素樹脂被膜22を被覆、あるいは無電解ニッケル皮膜21にフッ素樹脂粒子を含浸して構成される。また、外輪1と内輪2、転動体4は窒化ケイ素、炭化ケイ素、部分安定化ジルコニア、アルミナ等のセラミックスからなる。あるいは、外輪1と内輪2はその全面に窒化チタン、炭窒化チタン、窒化クロムからなる被膜が被覆されている。

請求項（抜粋）：

その外表面または全体がセラミックスからなる外輪及び内輪との間に、少なくともポケット内周面に無電解ニッケル被膜を介してフッ素樹脂被膜が成膜された保持器を介して複数のセラミックスからなる転動体を回動自在に保持してなることを特徴とする固体潤滑転がり軸受。

IPC (3件)：

F16C 33/66 ,  F16C 19/06 ,  F16C 33/38

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開昭61-217579
  
• 特開昭61-217579