特許

J-GLOBAL ID：200903014266180850

入れ子式の集光器を有する照明光学系

発明者： ヴォルフガング・ジンガー ,  マルティン・アントニ ,  ヨハネス・ヴァングラー ,  ヴィルヘルム・エグレ ,  ファディム・イェヴゲンイェヴィッチ・バニン ,  エリック・ロエロフ・ループストラ
出願人/特許権者： カール ツァイス セミコンダクター マニュファクチャリング テクノロジーズ アーゲー ,  アーエスエムエル・ネザーランズ・べー・フェー
代理人 (1件)： 渡邊 隆 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-232016
公開番号（公開出願番号）：特開2003-197514
出願日： 2002年08月08日
公開日（公表日）： 2003年07月11日
要約：

【要約】【課題】 光学コンポーネントを損傷させる物質ないし光線が、集光器の下流側に設けられた照明システムに入り込むことを防止することのできる入れ子式の集光器を有する照明光学系を提供する。【解決手段】 本発明は、物体面と、この物体面に対する共役面とを有する193nm以下の波長のための照明光学系に関する。本発明は、物体面と共役面200との間に第1の集光ユニット3、ならびに、共役面200の下流側に少なくとも一つの第2の集光ユニット300が設けられ、第1の集光ユニット3は、物体面から出る光線束を共役面200に集束するよう設けられ、集光ユニット3,300の少なくとも一つは、少なくとも一つの反射鏡シェルを有し、この反射鏡シェル上に、物体面から出る光線束の光線が、斜入射での反射において、上記反射鏡シェルの接平面に対して20°よりも小さな入射角で当たるように構成されていることを特徴としている。

請求項（抜粋）：

物体面と、前記物体面に対する共役面(200)と、を有する193nm以下の波長のための照明光学系において、前記物体面と前記共役面(200)との間に第1の集光ユニット(3)、ならびに、前記共役面(200)の下流側に少なくとも一つの第2の集光ユニット(300.1,300.2)が設けられ、前記第1の集光ユニット(3)は、前記物体面から出る光線束を前記共役面(200)に集束するように構成され、前記集光ユニット(3,300.1,300.2)の少なくとも一つは、少なくとも一つの反射鏡シェルを有し、この反射鏡シェル上に、前記物体面から出る光線束の光線が、前記反射鏡シェルの接平面に対して20°よりも小さな入射角で当たるように構成されていることを特徴とする照明光学系。

IPC (6件)：

H01L 21/027 ,  G02B 5/08 ,  G02B 5/10 ,  G02B 17/00 ,  G02B 27/18 ,  G03F 7/20 503

FI (7件)：

G02B 5/08 Z ,  G02B 5/10 A ,  G02B 17/00 Z ,  G02B 27/18 Z ,  G03F 7/20 503 ,  H01L 21/30 527 ,  H01L 21/30 531 S

Fターム (22件)：

2H042AA02 ,  2H042AA18 ,  2H042AA25 ,  2H042AA32 ,  2H042DD07 ,  2H042DD09 ,  2H042DE04 ,  2H087KA21 ,  2H087LA24 ,  2H087NA04 ,  2H087RA01 ,  2H087TA02 ,  2H087TA06 ,  2H097BB03 ,  2H097CA15 ,  2H097GB00 ,  2H097LA10 ,  5F046BA04 ,  5F046CA08 ,  5F046CB02 ,  5F046CB22 ,  5F046GB01

引用特許：

審査官引用 (6件)

• プラズマフォーカス高エネルギフォトン源
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-118725   出願人：サイマーインコーポレイテッド
• 特開昭54-055177
  
• 露光方法及び装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-157635   出願人：株式会社ニコン
• 特開昭54-055177
  
• X線マスク検査装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-140981   出願人：株式会社ニコン
• 多層膜反射鏡及び露光装置ならびに集積回路の製造方法。
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-287767   出願人：株式会社ニコン