特許
J-GLOBAL ID：200903014266730752
スパッタ用治具
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
白井 博樹 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-239216
公開番号（公開出願番号）：特開平6-088205
出願日： 1992年09月08日
公開日（公表日）： 1994年03月29日
要約：
【要約】【目的】治具内の所定位置にマスクと基板を自動的に位置決め可能にし、作業時間およびコストを低減させる。【構成】開口部2aが形成された主プレート2と、主プレート2上に載置され位置決めされたマスク8と、主プレート2に形成された基板位置決め装置装着用穴6と、該装着用穴6に装着される基板位置決め装置11とを有し、基板位置決め装置11は、回転軸14の一端に固定され、前記装着用穴6から主プレート2の基板9載置面側に突出する位置決めヘッド16と、前記回転軸の他端に作動アーム18を介して固定され、主プレート2の基板載置面とは反対側の方向に延長される作動ピ19ンと、位置決めヘッド16を基板9へ押し当てる方向に付勢し、かつ作動ピン19を前記装着用穴6から主プレート2の基板載置面とは反対側に突出させる方向に付勢するスプリング20とを備える。
請求項（抜粋）：
開口部が形成された主プレートと、前記主プレート上に載置され位置決めされたマスクとを含むスパッタ用治具において、前記主プレートに形成された基板位置決め装置装着用穴と、該基板位置決め装置装着用穴に装着される基板位置決め装置とを有し、前記基板位置決め装置は、回転軸の一端に固定され、前記基板位置決め装置装着用穴から主プレートの基板載置面側に突出する位置決めヘッドと、前記回転軸の他端に作動アームを介して固定され、主プレートの基板載置面とは反対側の方向に延長される作動ピンと、前記位置決めヘッドを基板へ押し当てる方向に付勢し、かつ前記作動ピンを前記基板位置決め装置装着用穴から主プレートの基板載置面とは反対側に突出させる方向に付勢するスプリングとを備えることを特徴とするスパッタ用治具。
引用特許：
出願人引用 (6件)
全件表示
審査官引用 (3件)
-
特公昭41-021007
-
特開昭55-133592
-
特開平4-188889
前のページに戻る
