特許

J-GLOBAL ID：200903014276360953

テンプレートアセンブリ

発明者： 山田 博行 ,  川端 克昌 ,  前田 直也 ,  久保 直人
出願人/特許権者： ロデール・ニッタ株式会社
代理人 (1件)： 山本 秀策
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-165911
公開番号（公開出願番号）：特開2002-355758
出願日： 2001年05月31日
公開日（公表日）： 2002年12月10日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】 被研磨物にスクラッチを発生することを防止し得るテンプレートアセンブリを提供すること。【解決手段】 被研磨物5の保持材2と、保持材2上に配置されたテンプレート3と、テンプレート3に設けられたリセスと、を有するテンプレートアセンブリである。リセス内において保持材2の保持面に保持された被研磨物5の外周部にノッチ6が設けられ、被研磨物5のノッチ6に対応する位置において、保持材2の保持面に被研磨物脱離用の凹部7が設けられている。

請求項（抜粋）：

被研磨物の保持材と、該保持材上に配置されたテンプレートと、該テンプレートに設けられたリセスと、を有するテンプレートアセンブリであって、該リセス内において保持材の保持面に保持された被研磨物の外周部にノッチが設けられ、該被研磨物のノッチに対応する位置において、該保持材の保持面に被研磨物脱離用の凹部が設けられているテンプレートアセンブリ。

IPC (4件)：

B24B 37/04 ,  B24B 41/06 ,  H01L 21/304 622 ,  H01L 21/306

FI (4件)：

B24B 37/04 H ,  B24B 41/06 L ,  H01L 21/304 622 G ,  H01L 21/306 M

Fターム (12件)：

3C034AA19 ,  3C034BB71 ,  3C034CB08 ,  3C034DD10 ,  3C058AA07 ,  3C058AB04 ,  3C058CB01 ,  3C058DA17 ,  5F043AA01 ,  5F043DD16 ,  5F043EE35 ,  5F043FF07

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開昭60-016361
  
• 特開昭60-016361